等离子体发生器
等离子体发生器
| 部件描述 | 详情 |
| 接地 | 将电源的高压输出接地 |
| 等离子体载气注入口 | 用载气冷却电极的气体注入口 |
| 电极冷却载气排出口 | 通过电极之间的载气排出口 |
| 等离子反应部注入口 | 为了等离子体放电向电极模块供应载气 |
| 蒸汽/气体注入口 | 为提高清洗效率的蒸汽或气体注入口 |
| 清洗副产物及残存气体排出口 | 吸入和排放清洗处理后产生的副产物及注入表面的残余 |
| 高压输入 | 连接电源的高压输出 |
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等离子体发生器
| 部件描述 | 详情 |
| 接地 | 将电源的高压输出接地 |
| 等离子体载气注入口 | 用载气冷却电极的气体注入口 |
| 电极冷却载气排出口 | 通过电极之间的载气排出口 |
| 等离子反应部注入口 | 为了等离子体放电向电极模块供应载气 |
| 蒸汽/气体注入口 | 为提高清洗效率的蒸汽或气体注入口 |
| 清洗副产物及残存气体排出口 | 吸入和排放清洗处理后产生的副产物及注入表面的残余 |
| 高压输入 | 连接电源的高压输出 |
