单片式清洗机（化学药剂/纯水）
单片式清洗机（化学药剂/纯水）
| 区分 | 描述 |
| 颗粒大小 | 30ea, ≥ 45 nm (使用裸晶圆) |
| 金属杂质 | 5x10/10原子/cm2 (Icp-Ms: Na, Mg, Al, K, Ca) |
| 吞吐量 | > 100 wph |
| 晶圆尺寸 | 150 & 200 & 300mm |
| 清洗腔室 | 1~12腔室 |
| 卡槽或片盒 | 1~8盒 / 3~4 片盒 |
| 功能 | 作用：利用化学药剂或只使用纯水进行清洗 特点：单个型号，2～8个腔室 晶片规格：6''、8''、12'' 清洗方式：高速旋转并冲刷 |
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